材料表面溫度升至沸點溫度的速度是如此之快,足以避免熱傳導造成的熔化,部分材料汽化成蒸汽消失,部分材料作為噴出物從切縫底部被輔助氣體流吹走。一些不能熔化的材料,如木材、碳素材料就是通過這種汽化切割方法,進行切割成形的。