在加工表面能進(jìn)行良好的放電,但因線電極振動(dòng),加工表面也很容易產(chǎn)生波峰或條紋,引起工件表面粗糙度變差。在脈沖下進(jìn)行孔加工很為有效,也可用于切削、焊接和光刻等。波長不易被非金屬吸收,故不能切割非金屬材料,需要解決的是提高電源的穩(wěn)定性和壽命,如采用半導(dǎo)體光泵可使能量效率大幅度地增長。輸出能量小,主要用于打孔及薄板的切割,在脈沖或連續(xù)波的情況下應(yīng)用,具有波長短、聚光性好。